全自動槽式清洗機廣泛應(yīng)用于集成電路、MEMS和光伏領(lǐng)域的CMP后清洗工藝。該清洗機可對晶圓片表面、背面、邊緣進行清潔。本機臺是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動控制系統(tǒng)。通過RCA清洗工藝的控制，超兆聲波的匹配應(yīng)用，多組機械手系統(tǒng)的傳遞，實現(xiàn)“干進干出”的晶片清洗功能，減少了人為因素對清洗過程的干擾，滿足晶片的表面顆粒度和表面金屬殘留目標要求。
1. 適用場景
研磨、刻蝕、返工后等集成電路制造工藝的最終清洗
2. 工作原理
1) 自動槽式清洗機的工作原理主要是利用超聲波在液體中的空化作用，?通過高頻振動產(chǎn)生強大的沖擊波，?對物體表面進行深度清洗。?
2) 全自動槽式清洗機，?尤其是超聲波清洗機，?利用超聲波在液體中產(chǎn)生的空化作用，?這種作用能夠在液體內(nèi)部形成微小的氣泡。?當這些氣泡在瞬間破裂時，?會產(chǎn)生強大的沖擊力，?對物體表面進行深度清潔。?此外，?超聲波的振動還能加速清洗液的流動，?對物體表面進行全面的沖洗，?從而達到高效清洗的目的。?這種清洗方式相比傳統(tǒng)方法，?具有清洗效果好、?效率高、?環(huán)保等優(yōu)點。?
3) 全自動槽式清洗機通常由超聲波發(fā)生器、?換能器、?清洗槽、?清洗液循環(huán)系統(tǒng)等部分組成。?其中，?雙槽設(shè)計是其最大的特點，?可以同時對不同種類的物品進行清洗，?進一步提高工作效率。?此外，?全自動槽式清洗機還采用了全密封結(jié)構(gòu)，?通過高效空氣過濾器吹入潔凈的空氣，?同時采用細管路抽風(fēng)，?使清洗機相對室內(nèi)環(huán)境形成正壓，?防止外界灰塵等雜質(zhì)進入，?確保清洗質(zhì)量。?
4) 全自動槽式清洗機的控制方式也實現(xiàn)了高度自動化，?通過可編程序控制器(PLC)與觸摸屏控制，?實現(xiàn)了從進料到出料的全程自動化操作。?操作人員可以通過觸摸屏方便地輸入所需的工藝程序，?并實時監(jiān)控設(shè)備運行狀態(tài)，?保證了產(chǎn)品清洗質(zhì)量的穩(wěn)定性和操作的便捷性
3. 產(chǎn)品優(yōu)勢
1、設(shè)備實現(xiàn)自動作業(yè)，自動過程控制工藝、干燥作業(yè)的濕法工藝解決方案
2、設(shè)備可依據(jù)客戶工藝需求設(shè)計對應(yīng)模塊；主要由上下料口、機械臂、SPM/SC1/SC2等組成；
3、SC1槽可根據(jù)客戶要求定制不同頻率的超聲/兆聲
4、具備IPA Dry、Spin Dry選擇
5、可支持多批次清洗提升產(chǎn)量
6、化學(xué)槽支持自動換液、補液及定時/定量補液，自動洗槽功能
7、可根據(jù)不同廠務(wù)要求制定不同種類的排放方案
8、良好的設(shè)備穩(wěn)定性和可靠性；
9、有效控制金屬、材料及微粒子的交叉污染
10、軟件和硬件的模塊化設(shè)計
11、軟硬件預(yù)留MES通訊接口
12、實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能
13、選配SECS/GEM接口；
14、可實現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過點信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能
4. 設(shè)備特點
? 視窗為雙層設(shè)計，操作安全
? 設(shè)備占地面積小
? 噴淋裝置噴淋均勻
? 加熱材料高純無污染，in-line加熱
? 有限控制金屬、材料及微粒子的交叉
? 溫度自動校準
? 軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全
? 支持SMIF自動傳輸
? 實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能
? 軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
? 工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速
? 優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量
? 藥液濃度實時監(jiān)控系統(tǒng)
? 多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶適用和儲存
? 槽體流場控制技術(shù)
? 高效藥液回收系統(tǒng)
? Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度
? 較潔凈藥液回收利用，節(jié)約藥液使用
? 易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)
? 易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng)，符合消防安全
? 自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)
? 系統(tǒng)自動排程，多工位并發(fā)處理，高效率運行
? 擁有多項軟件著作權(quán)
? 工藝預(yù)置，過程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
? PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面
5. 安裝及售后
1） 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。
2） 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
3） 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。
可提供隨機備件、易損品及隨機工具。